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从机电到MEMS,看中国传感器设计与制造技术的发

来源:机电工程技术 【在线投稿】 栏目:综合新闻 时间:2021-08-16
作者:网站采编
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摘要:任何产品从开发到产品上市都会经历一条非常不平坦的道路:从无到有,大而不强,多而不强;成就伟大,问题多多,进步显着,崎岖不平。本段也适用于传感器。传感器是一种能够感

任何产品从开发到产品上市都会经历一条非常不平坦的道路:从无到有,大而不强,多而不强;成就伟大,问题多多,进步显着,崎岖不平。本段也适用于传感器。传感器是一种能够感知被测信息的检测装置,能将感知到的信息按照一定的规则转化为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的需要。传输、处理、存储、显示、记录和控制的要求。人们为了从外界获取信息,必须借助感觉器官。但是,人们自身的感觉器官在研究自然现象和规律以及生产活动方面还远远不够。为了适应这种情况,需要传感器。

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传感器早已渗透到工业生产、空间开发、海洋探索、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程等广泛的行业领域。文物保护。场地。可以毫不夸张地说,从浩瀚的太空,到浩瀚的海洋,再到各种复杂的工程系统,几乎每一个现代工程都离不开各种传感器。可见,传感器技术对发展经济、促进社会进步的重要作用是十分明显的。世界各国都高度重视这一领域的发展。相信在不久的将来,传感器技术将实现飞跃,达到与其重要地位相称的新水平。工财网小编带你了解中国传感器设计制造技术从机电到MEMS的发展历程。

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在 20在 1930 年代,主要是机械传感器。到1950年代,大部分传感器采用机电结构,分立式传感器出现。 1970年代,随着微电子技术的发展,如IC技术的引入和MEMS技术的应用,出现了MEMS传感器。 80年代,随着片上集成技术的引入,单片集成传感器被引入。 1990年代,WSN无线传感器是利用无线通信和低功耗技术开发的;计算机技术、通信技术、大规模集成电路制造技术在传感技术中的应用导致了智能传感器的出现。

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在传感器不断升级的道路上,我国传感器的设计也经历了模仿、自主设计到初步创新的阶段。起初,对传感器的理解基本趋于一致,但从“造船不如买船,买船不如租船”的思维模式转变后,他走出“技术市场”的迷雾,相信“技术创新的主体是“企业”这些观点。主要观点如下:

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我国传感器设计技术的发展历程

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CAD 技术的应用为独立的传感器设计和创新提供了强大的工具。利用I-deas和Vaild支持软件,对硅杯进行力学分析,开发了芯片布局、磁芯结构、结构设计和温度补偿等应用软件,完成了产品设计。但由于软件平台的限制,无法进行非线性修正。 “九五”期间,以Ansys软件为分析平台,建立了方杯、单杯、双岛、单岛、梁膜传感器、应变式力传感器的参数化模型和力学分析,并设计了新型传感器。它已在开发中得到应用和验证。

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我国传感器技术的发展历程

平面技术

< p>厚膜工艺

超细粉体制备工艺

微加工工艺

智能芯片制造工艺

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我国传感器可靠性技术的发展历程

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在传感器技术发展的过程中,传感器产品的可靠性非常重要,已经开展了10个规格产品的可靠性技术研究。并通过对产品的可靠性试验、筛选、分析、数据处理、可靠性设计和制造技术研究,完成了产品的寿命试验、失效机理和失效模式分析,建立了可靠性增长模型,制作PN结传感器、PTC热敏电阻、扩散硅压力传感器、硅霍尔元件、应变式力传感器、石英谐振称重传感器、NTC热敏电阻、InSb霍尔元件、廉价湿度传感器a-Fe2〇3气体传感器的实现目标将 I 的可靠性级别提高到 2 个级别。开展可靠性综合压力测试研究,将传感器可靠性测试时间从一年左右缩短到几个月。

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我国传感器专用工艺装备的发展历程

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在传感器产品的开发过程中,离不开工艺装备的研究。在注重产品和工艺开发的同时,也注重工艺设备的开发,其中代表性的就是扩散硅传感器工艺设备的开发。面对国外对我国扩散硅传感器关键工艺设备的封锁,中国科技人员自主研发了切割机、硅杯研磨机、静电封口机,利用计算机技术、自动化技术对大型硅杯进行自动研磨和精密机械技术。硅传感器生产专用设备,如整机、大芯片静电封口机、硅油充填机、化学电化学腐蚀设备、充油封装焊接机、芯片自动测试仪、温度补偿校准装置等。 ,提高制造工艺的一致性和生产效率,并在行业内推广。

文章来源:《机电工程技术》 网址: http://www.jdgcjszz.cn/zonghexinwen/2021/0816/820.html



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